ウェハボックスの位置決め
— ある半導体メーカー

ユーザーはウェーハ搬送に複合ロボットを使用しています。ウェーハボックスが入ってきた時位置ずれが大きくて、2Dソリューションでは位置決めができません。3Dビジョンシステムを導入することにより、ウエハーボックスの空間座標を取得し、正確に把持して移動ロボットのラックに置くように誘導します。

ソリューション

AT-S1000-06C-Sは、双眼とパタン投影式の画像技術を採用し、高精度、迅速な導入と簡単なメンテナンスなどの特長を備えています。安定した製品構成と高度な知能化を持ち、二次開発が不要で、生産効率の向上を実現できます。

ソリューションの特長
位置ずれの知能補正
3Dビジョンシステムは、高速のスキャンによりウェーハボックスの空間座標を取得できます。ワークの位置ずれをインテリジェントに補正でき、ロボットを正確に把握するように誘導します。

ミリ級位置決め精度

双眼パタン投影式の3Dビジョンソリューションは、ミリレベルの位置決め精度要件を満たし、1回の位置決めビートは3秒未満で、搬送効率が高くなります。

優れた適応性

様々な素材のウェーハカセットがあり、青色のパタン式構造化光である程度の表面反射に対処でます。60,000ルクスの照度で完全な画像を取得でき、良い環境適応性に持っております。

簡単な操作とメンテナンス

高度統合の3Dビジョンシステムは、プログラミングの専門知識がなくても操作できます。産業用品質で耐用年数が5~8年に達し、メンテナンスもクリーニングと締め付けだけで簡単です。

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